超精密不銹鋼工作臺(tái)是由于直線運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)計(jì)和制造相對(duì)滯后，以來(lái)不得不借助于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過(guò)機(jī)械傳動(dòng)和轉(zhuǎn)換裝置來(lái)獲得直線運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生單向位移或是雙向往復(fù)位移。國(guó)內(nèi)外許多學(xué)者根據(jù)不同的研究重點(diǎn)開(kāi)發(fā)了多種精密定位實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)，對(duì)超精密定位工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)展了相關(guān)的研究，推動(dòng)了超精密定位工作臺(tái)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步。

超精密氣浮定位不銹鋼工作臺(tái)的簡(jiǎn)介，針對(duì)上述問(wèn)題，為實(shí)現(xiàn)高性能、高集成、高效率以及低成本的生產(chǎn)，世界上各IC設(shè)備廠商加大研發(fā)投資，研制新一代高速高精的超精密定位運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)。其中，基于氣浮支承技術(shù)和直線電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)的超精密、長(zhǎng)行程氣浮定位工作臺(tái)，是精密定位工作臺(tái)的一種新型結(jié)構(gòu)。

它克服了傳統(tǒng)定位工作臺(tái)(旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)+滾動(dòng)絲杠+滾動(dòng)或油膜滑動(dòng)軸承)行程短、響應(yīng)滯后大、存在摩擦等不足，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)行程高速運(yùn)動(dòng)和精確定位功能，代表著超精密、長(zhǎng)行程定位工作臺(tái)的發(fā)展方向，在半導(dǎo)體光刻設(shè)備、精密測(cè)量和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域中具有十分廣泛的應(yīng)用前景。

不銹鋼工作臺(tái)超精密氣浮定位工作臺(tái)的研制水平落后于技術(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家至少10～15年，國(guó)內(nèi)較為先進(jìn)的Ic生產(chǎn)線也全是依靠進(jìn)口的。由于技術(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)實(shí)行技術(shù)限制和技術(shù)壁壘政策，進(jìn)口的超精密氣浮定位工作臺(tái)也比國(guó)外先進(jìn)的定位工作臺(tái)，因此我國(guó)的Ic設(shè)備生產(chǎn)基本受制于人。為掌握超精密氣浮定位工作臺(tái)的核心技術(shù)，提高尖端超精密機(jī)械的自主研發(fā)能力，突破發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)在超精密氣浮定位工作臺(tái)方面的技術(shù)封鎖，對(duì)超精密氣浮定位工作臺(tái)技術(shù)進(jìn)行自主研究具有十分重大的現(xiàn)實(shí)意義和經(jīng)濟(jì)意義。

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